Ramiona ceramiczne drukowane w 3D oferują niezrównaną precyzję i trwałość dla przemysłu

Drukowane w 3D ramię robotyczne z ceramiki aluminiowej jest wydajnym rozwiązaniem automatyzacyjnym specjalnie zaprojektowanym do:produkcja półprzewodników, obróbka płytek i automatyczna produkcja. WykorzystanieTechnologia druku 3D DLP/SLA, jest produkowany jako jeden zintegrowany komponent z990,9% wysokiej czystości ceramiki aluminiowej (Al2O3)Z wyjątkowymi właściwościami, w tymbardzo wysoka twardość, odporność termiczna, odporność na korozję i niski współczynnik rozszerzenia termicznego, jest idealny dlaśrodowiska próżniowe, trudne warunki chemiczne i procesy o wysokiej temperaturze, zapewniającwysoka czystość i stabilnośćw zastosowaniach związanych z obsługą płytek.

Kluczowe zastosowania

✅Obróbka płyt półprzewodnikowych: uchwycenie próżniowe, pozycjonowanie i przenoszeniePłytki 12 cali
✅Urządzenia do etywania i osadzania: Odporny na plazmę w procesach PVD/CVD
✅Działania w wysokiej temperaturze: Nieprzerwana praca w300°C+
✅Automatyczne linie produkcyjne: Kompatybilny z narzędziami końcowymi (EOAT) dla zwiększonej wydajności

Zalety konkurencyjne

Specyfikacje techniczne

• Czystość materialna: ≥ 99,9% Al2O3

• Technologia druku: Fotopolimeryzacja DLP (dokładność ± 20 μm)

• Pojemność ładunku użytecznego: 5 kg (standardowe)/10 kg (ciężkie)

• Powtarzalność:Dokładność pozycjonowania ±0,01 mm

• Zakres temperatury: -50°C do 300°C

• Bruki powierzchni: Ra≤0,1 μm (polerowalne do 0,05 μm)

• Kompatybilność pod próżnią: Zintegrowane kanały powietrza (filtracja 0,5 μm)

Proces produkcji

1. Modelowanie 3D: Projektowanie CAD + symulacja ścieżki obsługi płytki

2. Przygotowanie ślizgi: Nanoalumina + mieszanka żywicy fotopolimerowej (55-58% zawartości stałego)

3. Drukowanie DLP: Utwardzanie warstwą po warstwie (20 μm grubości)

4. Sintering w wysokim tempie: Gęstnienie w temperaturze 1650°C (117-122% kompensacji kurczenia)

5. Obróbka precyzyjna: Ogrzewanie laserowe + szlifowanie CNC (płaskość ± 0,02 mm)

6. Kontrola jakości: Badanie rentgenowskie + badanie przecieków

Instrukcje obsługi

/Ważne uwagi:

• Sterylizacja w autoklawie (121°C) przed pierwszym użyciem

• Unikaj narażenia na działanie kwasu fluorowodoru (HF)

• Miesięczna wspólna inspekcjado utrzymania zużycia i integralności próżni

• Wykorzystanie ceramicznych efektorów końcowychw celu zapobiegania uszkodzeniu płytki