Wydajność izolacyjna Bazy ceramiczne aluminowe do dokładnych urządzeń pomiarowych i inspekcji przemysłowych

Wydajność izolacyjna ceramicznych baz z tlenku glinu dla precyzyjnych urządzeń pomiarowych i kontroli przemysłowej

Te ceramiczne bazy podporowe z tlenku glinu są produkowane z materiału o wysokiej czystości 99,6% Al₂O₃, specjalnie zaprojektowanego dla urządzeń półprzewodnikowych, optycznych i precyzyjnych pomiarowych. Charakteryzują się ultra-wysoką płaskością 0,01 mm/m i współczynnikiem rozszerzalności cieplnej 7,2×10⁻⁶/℃, produkty zachowują wyjątkową stabilność wymiarową w ekstremalnych temperaturach (-60℃~1500℃) i środowiskach próżniowych (≤10⁻⁸Pa).

Główne obszary zastosowań

• Sprzęt półprzewodnikowy: Etapy litografii płytek, bazy komór reaktorów do wytrawiania

• Precyzyjna optyka: Platformy referencyjne interferometru laserowego, mocowania luster teleskopów kosmicznych

• Instrumenty analityczne: Etapy próbek mikroskopu elektronowego, podpory źródła jonów spektrometru mas

• Kontrola przemysłowa: Bazy maszyn CMM, obrotnice testerów okrągłości

• Nowa energia: Podpory stosów ogniw paliwowych, nośniki urządzeń do powlekania fotowoltaicznego

Macierz przewagi wydajności

Specyfikacje techniczne

Precyzyjny proces produkcji

1. Przetwarzanie proszku: Proszek o wysokiej czystości 0,1μm z granulacją natryskową

2. Proces formowania: Prasowanie izostatyczne (300MPa) połączone z obróbką CNC na zielono

3. Technologia spiekania: Spiekanie gradientowe w temperaturze 1700℃ w atmosferze wodoru

4. Precyzyjna obróbka:

   • Szlifowanie 5-osiowe (±0,002 mm)

   • Polerowanie magnetoreologiczne (dokładność powierzchni λ/20@632,8nm)

5. Przetwarzanie w pomieszczeniach czystych: Montaż zakończony w pomieszczeniu czystym klasy 100

6. Pełna inspekcja: Interferometr laserowy + CMM pełna kontrola wymiarowa

Wytyczne dotyczące instalacji

• Wymagania dotyczące instalacji:
  ✓ Użyj klucza dynamometrycznego (zalecana wartość 1,5±0,2N·m)
  ✓ Użyj dedykowanych narzędzi do pomieszczeń czystych
  ✓ Zalecana wstępna regulacja dopasowania termicznego (gradient temperatury <2℃/min)

• Ograniczenia środowiskowe:
  ✕ Unikaj kontaktu z kwasem fluorowodorowym
  ✕ Unikaj szoków termicznych >200℃/min
  ✕ Nie nadaje się do ciągłych środowisk utleniających >1600℃

Zobowiązanie serwisowe

• Wsparcie techniczne: Bezpłatna analiza naprężeń FEA

• Szybka reakcja: 72-godzinny serwis ekspresowy

• Zarządzanie identyfikowalnością: 10-letnia pełna dokumentacja produkcyjna

• Wsparcie certyfikacji: Dostarczone dokumenty certyfikacji SEMI/FDA/ISO

FAQ

P: Jak zapewnić dopasowanie termiczne z komponentami z węglika krzemu?
O: Dostępny projekt przejścia gradientu CTE (regulowany 7,2-4,5×10⁻⁶/℃)

P: Maksymalne wymiary możliwe do przetworzenia?
O: Obecny limit techniczny 500×500×100mm (wymagane specjalne oprzyrządowanie)

P: Czy modyfikacja przewodząca jest obsługiwana?
O: Konfigurowalne wersje antystatyczne z rezystancją powierzchniową 10⁴-10¹⁰Ω

P: Jak gwarantowana jest czystość na poziomie płytki?
O: Końcowa sterylizacja za pomocą VHP (zparowany nadtlenek wodoru)